チタンターゲットの概要:
特定の形狀(円形、四角形、またはその他の複雑な形狀)および純チタンまたはチタン合金から特定のプロセスで製造された微細(xì)な表面を備えたチタンターゲット。
チタンターゲットはその優(yōu)れた性能により、液晶ディスプレイ、太陽(yáng)電池、磁性材料等の分野で幅広く使用され、基礎(chǔ)材料として重要な役割を果たしています。たとえば、LCD の製造では、マグネトロン スパッタリングによってチタン ターゲットを製造し、純粋で均一なチタン膜を生成できるため、製品の性能が大幅に向上します。
試験方法:GDMS、LECO 化學(xué)成分、≦、単位[wt%]ppm(1ppm=0.0001%) | ||||||
プロジェクト | 3N | 3N5 | 4N | 4N5 | 5N | 5N5 |
完全な純度 | ≥99.9 | ≥99.95 | ≥99.99 | ≥99.995 | ≥99.999 | ≥99.9995 |
銀 | - | - | 1 | 0.5 | 0.01 | 0.01 |
アル | - | 50 | 10 | 3 | 2 | 2 |
として | - | - | 10 | 1 | 0.5 | 0.5 |
アウ | - | - | 1 | 0.5 | 0.25 | 0.25 |
B | - | 1 | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
なれ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ビ | - | - | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
Ca | - | - | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
CD | - | - | - | 1 | 0.2 | 0.2 |
Cl | 600 | 10 | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
コ | - | - | 5 | 1 | 0.05 | 0.05 |
Cr | - | 20 | 5 | 1 | 0.8 | 0.8 |
銅 | - | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
F | - | - | - | 15 | 0.5 | 0.5 |
鉄 | 700 | 200 | 10 | 7 | 5 | 3 |
水銀 | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.1 |
K | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.01 |
李 | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.005 |
マグネシウム | - | 1 | 2 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ん | - | 10 | 5 | 1 | 1 | 0.5 |
モー | - | - | 4 | 1 | 0.05 | 0.05 |
ナ | - | - | 0.2 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
ニ | 250 | 25 | 5 | 1 | 0.5 | 0.5 |
P | - | - | - | 1 | 0.25 | 0.01 |
鉛 | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.01 |
PD | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.01 |
S | - | - | 10 | 10 | 5 | 3 |
Sb | - | - | 7 | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
シ | 200 | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
SN | - | - | 5 | 1 | 0.5 | 0.01 |
テ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Th | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
U | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
V | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
W | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.1 |
亜鉛 | - | - | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ジル | - | - | 5 | 3 | 1 | 1 |
バ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Br | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
セ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Cs | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ガ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ゲ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Hf | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
I | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
In | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ラ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
リ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Rh | - | - | - | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
ル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Sc | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
セ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
広報(bào) | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Nd | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
SM | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
歐州連合 | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ゴッド | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TB | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ディ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ホー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
えー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Tm | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イブ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ルー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
オス | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TL | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
C | 200 | 150 | 50 | 30 | 30 | 30 |
H | 50 | 10 | 5 | 10 | 6 | 6 |
N | 200 | 100 | 50 | 30 | 30 | 30 |
O | 800 | 700 | 450 | 300 | 200 | 100 |
高純度チタンターゲットの応用
高純度チタンターゲットは、エレクトロニクス、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、航空宇宙、エネルギー、研究などの業(yè)界で幅広く応用されています。
これらのターゲットは、エレクトロニクス産業(yè)における高度な集積回路、半導(dǎo)體デバイス、MEMS の製造に使用されます。
光學(xué)分野では、レンズ、ミラー、フィルターの性能を向上させるための精密光學(xué)コーティングに使用されています。
高純度チタンターゲットは、その生體適合性と耐食性により、醫(yī)療用インプラントや醫(yī)療機(jī)器にとって極めて重要です。
また、航空機(jī)エンジンの重要なコンポーネントとして航空宇宙産業(yè)でも重要な役割を果たしています。
エネルギー分野では、これらのターゲットは太陽(yáng)電池や燃料電池の薄膜コーティングに利用されています。
さらに、高純度チタンターゲットは研究開発目的に不可欠であり、材料特性の調(diào)査に役立ちます。
全體として、高純度チタンターゲットの卓越した特性と高い化學(xué)純度により、高純度チタンターゲットはさまざまなハイテク用途に不可欠なものとなっています。
チタンターゲットの概要:
特定の形狀(円形、四角形、またはその他の複雑な形狀)および純チタンまたはチタン合金から特定のプロセスで製造された微細(xì)な表面を備えたチタンターゲット。
チタンターゲットはその優(yōu)れた性能により、液晶ディスプレイ、太陽(yáng)電池、磁性材料等の分野で幅広く使用され、基礎(chǔ)材料として重要な役割を果たしています。たとえば、LCD の製造では、マグネトロン スパッタリングによってチタン ターゲットを製造し、純粋で均一なチタン膜を生成できるため、製品の性能が大幅に向上します。
試験方法:GDMS、LECO 化學(xué)成分、≦、単位[wt%]ppm(1ppm=0.0001%) | ||||||
プロジェクト | 3N | 3N5 | 4N | 4N5 | 5N | 5N5 |
完全な純度 | ≥99.9 | ≥99.95 | ≥99.99 | ≥99.995 | ≥99.999 | ≥99.9995 |
銀 | - | - | 1 | 0.5 | 0.01 | 0.01 |
アル | - | 50 | 10 | 3 | 2 | 2 |
として | - | - | 10 | 1 | 0.5 | 0.5 |
アウ | - | - | 1 | 0.5 | 0.25 | 0.25 |
B | - | 1 | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
なれ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ビ | - | - | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
Ca | - | - | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
CD | - | - | - | 1 | 0.2 | 0.2 |
Cl | 600 | 10 | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
コ | - | - | 5 | 1 | 0.05 | 0.05 |
Cr | - | 20 | 5 | 1 | 0.8 | 0.8 |
銅 | - | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
F | - | - | - | 15 | 0.5 | 0.5 |
鉄 | 700 | 200 | 10 | 7 | 5 | 3 |
水銀 | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.1 |
K | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.01 |
李 | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.005 |
マグネシウム | - | 1 | 2 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ん | - | 10 | 5 | 1 | 1 | 0.5 |
モー | - | - | 4 | 1 | 0.05 | 0.05 |
ナ | - | - | 0.2 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
ニ | 250 | 25 | 5 | 1 | 0.5 | 0.5 |
P | - | - | - | 1 | 0.25 | 0.01 |
鉛 | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.01 |
PD | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.01 |
S | - | - | 10 | 10 | 5 | 3 |
Sb | - | - | 7 | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
シ | 200 | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
SN | - | - | 5 | 1 | 0.5 | 0.01 |
テ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Th | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
U | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
V | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
W | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.1 |
亜鉛 | - | - | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ジル | - | - | 5 | 3 | 1 | 1 |
バ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Br | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
セ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Cs | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ガ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ゲ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Hf | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
I | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
In | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ラ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
リ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Rh | - | - | - | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
ル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Sc | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
セ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
広報(bào) | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Nd | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
SM | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
歐州連合 | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ゴッド | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TB | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ディ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ホー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
えー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Tm | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イブ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ルー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
オス | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TL | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
C | 200 | 150 | 50 | 30 | 30 | 30 |
H | 50 | 10 | 5 | 10 | 6 | 6 |
N | 200 | 100 | 50 | 30 | 30 | 30 |
O | 800 | 700 | 450 | 300 | 200 | 100 |
高純度チタンターゲットの応用
高純度チタンターゲットは、エレクトロニクス、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、航空宇宙、エネルギー、研究などの業(yè)界で幅広く応用されています。
これらのターゲットは、エレクトロニクス産業(yè)における高度な集積回路、半導(dǎo)體デバイス、MEMS の製造に使用されます。
光學(xué)分野では、レンズ、ミラー、フィルターの性能を向上させるための精密光學(xué)コーティングに使用されています。
高純度チタンターゲットは、その生體適合性と耐食性により、醫(yī)療用インプラントや醫(yī)療機(jī)器にとって極めて重要です。
また、航空機(jī)エンジンの重要なコンポーネントとして航空宇宙産業(yè)でも重要な役割を果たしています。
エネルギー分野では、これらのターゲットは太陽(yáng)電池や燃料電池の薄膜コーティングに利用されています。
さらに、高純度チタンターゲットは研究開発目的に不可欠であり、材料特性の調(diào)査に役立ちます。
全體として、高純度チタンターゲットの卓越した特性と高い化學(xué)純度により、高純度チタンターゲットはさまざまなハイテク用途に不可欠なものとなっています。
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